摘要: 聚酰胺酸Ｎ，Ｎ－二甲基十八铵盐ＬＢ膜具有严格排列的周期结构，其亚胺化可以在比聚酰胺酸更为温和的条件下进行。测定了沉积在单晶硅片上的聚酰亚胺涂膜的热分解性能。于真空和高温下聚酰亚胺ＬＢ膜会热解并与基片硅反应而生成规则结构的ＳｉＣ准单晶膜。